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    URE-2000/17紫外掩膜式光刻機

    更新時間:2023-05-09

    訪問量:448

    廠商性質:代理商

    生產地址:中國

    簡要描述:
    URE-2000/17紫外掩膜式光刻機 采用雙目雙視場顯微鏡對準、球碗調平、單片機控制、觸摸開關、操作方便、實用性強。對準精度為±1μm,可滿足基片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
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    URE-2000/17紫外掩膜式光刻機


    采用雙目雙視場顯微鏡對準、球碗調平、單片機控制、觸摸開關、操作方便、實用性強。


    產品特征:

    (1)采用創新的多點梯形反射鏡聚光構造,具有高的能量收集率和高均勻照明性;

    (2)采用進口直流高壓汞燈,光功率穩定性好;

    (3)采用i線(365 nm)紫外曝光光源,波長單一,光譜純凈;

    (4)配置高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22寸寬屏液晶顯示器,可通過顯微鏡目視和顯示器同時觀察對準過程,適用大視場高倍率對準;

    (5)采用薄膜開關操作,數字設定曝光時間,倒計時數顯,曝光量可精確控制;

    (6)配置無油真空干泵,無污染,噪音小;

    (7)具有碎片處理功能;

    (8)關鍵器件采用進口國際品牌產品,整機可靠性高;



    URE-2000/17紫外掩膜式光刻機 技術指標:

    (1)曝光面積:100mm×100mm方形區域或者φ110mm圓形區域;

    (2)光刻分辨力:1.5μm≤

    (3)對準精度:±1μm    

    (4)曝光波長:365nm    

    (5)掩模尺寸: 2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch    

    (6)樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);    

    (7)照明均勻性:±6%≤(Ф100mm 范圍);

    (8)汞燈功率:200W(直流、進口汞燈);

    (9)掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

    (10)曝光量設定:定時(倒計時方式0.1~999.9秒任意設定、設定精度0.1秒);

    (11)顯微鏡配置:雙目雙視場、物鏡三對:4X、10x、20X(可置換),目鏡三對:10x、16X、20X(可置換)

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