URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機

一、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機 技術參數：

（1）曝光面積： 160mm ×160mm ；

（2）曝光波長： 365nm ；

（3）分辨力：≤ 1μm；

（4）對準精度： ±1 μm；

（5）對準系統掃描臺運動范圍至少滿足： Y: 10 mm ；

（6）對準系統左右光管可單獨 X Y Z 向運動， X向：± 5mm，Y 向：± 5mm，Z 向：± 5mm ；

（7）掩模尺寸 ：7寸（向下兼容） ；

（8）樣片尺寸： 6寸（向下兼容） ；

（9）適應樣品厚度： 0. 5-3mm ，最大可支持 20mm 的樣片（定制） ；

（10）曝光方式：定時（倒計時方式）；

（11）照明不均勻性：＜ 3 %；

（12）雙視場 CCD 對準顯微鏡： 變倍鏡頭（ 1-5倍）+顯微物鏡

（13）掩模相對于樣片運動行程至少滿足： X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6o ；

（14）曝光能量密度： >35 mW/cm²,

（15）對準位 和曝光雙工作，伺服電機 自動切換；

（16）調平接觸壓力通過傳感器保證重復性；

（17）可數字設定對準間隙和曝光；

（18）觸摸屏操作；

（19）外形尺寸：約 1400mm（長） x 900mm(寬) x 1500mm（高）

二、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機 設備配置：

設備主要由均勻照明曝光系統、對準工件臺系統、電控系統、氣動控制系統及輔助配套設備構成。

（1）曝光頭系統

● 進口紫外 LED 光源

● LED 光源整形模塊

● XYZ 光源位置 調節臺

● 冷卻風扇

● 光學系統：（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組、場鏡組、反射）

（2）對準工件臺

●工位切換臺（電機）；

●掩模樣片整體運動臺；

●掩模樣片相對運動臺；

●轉動臺；

●樣片調平機構，三點自動完成；

●樣片調焦機構，電自動；

●基片抽拉式上下機構；

●掩模尺寸 3寸， 4寸， 5寸，7寸；

●樣片尺寸： 2寸， 3寸， 4寸，6寸；

（3）對準系統

●光源、 電源

●CCD 對準系統， 22 寸液晶顯示器

●左右光管可單獨 X Y Z 向運動臺；

（4）電控系統

●光源 電源

●控制系統

●控制柜桌

（5）氣動系統

●氣缸、電磁閥減壓動開關等

●電磁閥驅動

●氣動儀表

（6）其它附件

●真空泵一臺（無油）

●空壓機一臺（靜音泵）

●管道

（7）技術資料

●使用維修說明書

●合格證